各有關(guān)單位：
國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)近日發(fā)布了三項(xiàng)指南引導(dǎo)類原創(chuàng)探索項(xiàng)目指南，具體如下：
一、集成電路關(guān)鍵材料前沿探索
本項(xiàng)目面向集成電路用關(guān)鍵材料，通過材料、化學(xué)、物理和信息等多學(xué)科的深度交叉融合，針對(duì)集成電路制造過程中涉及到的關(guān)鍵金屬材料、無機(jī)非金屬材料及有機(jī)高分子材料，探索材料制備與應(yīng)用的新原理、新方法與新技術(shù)，推動(dòng)原始創(chuàng)新，為突破集成電路材料領(lǐng)域的“卡脖子”難題提供基礎(chǔ)支撐，服務(wù)國(guó)家重大戰(zhàn)略需求，引領(lǐng)國(guó)際科技前沿。資助方向如下：
（一）極紫外高分子光刻膠。
（二）本征型層間互連封裝光刻膠。
（三）集成電路用高分子復(fù)合材料界面微結(jié)構(gòu)演變與失效機(jī)理研究。
（四）柔性集成電路載板的材料設(shè)計(jì)與性能調(diào)控。
（五）面向非硅CMOS器件的新型溝道材料。
（六）面向后摩爾時(shí)代低能耗器件的晶體柵介質(zhì)材料。
（七）面向高集成度電光調(diào)制器的納米光子材料。
（八）面向高密度三維堆疊存儲(chǔ)陣列應(yīng)用的鐵電材料。
（九）晶圓級(jí)Sn-Ag微凸點(diǎn)互連材料。
（十）極限制程封裝電接觸材料精準(zhǔn)構(gòu)筑及電子結(jié)構(gòu)調(diào)制。
本項(xiàng)目資助期限為3年，計(jì)劃資助8-10項(xiàng)，平均資助強(qiáng)度200萬元/項(xiàng)。預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)。
具體詳情參見基金委網(wǎng)站：
https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab434/info90825.htm
二、復(fù)雜惡劣條件下水電工程智能建設(shè)新理論新方法
本項(xiàng)目聚焦復(fù)雜惡劣條件下巨型水電工程建設(shè)難點(diǎn)和挑戰(zhàn)，在超深厚覆蓋層堆石壩面板混凝土澆筑振搗質(zhì)量控制、面板韌性與結(jié)構(gòu)性態(tài)演化、深埋超大規(guī)模地下廠房洞室群開挖鉆爆等方面，開展智能感知、精準(zhǔn)分析模擬、智能饋控研究，建立水電工程智能建設(shè)創(chuàng)新理論與方法。資助方向如下：
（一）復(fù)雜惡劣條件下堆石壩面板混凝土振搗探測(cè)智能感知。
（二）超深厚覆蓋層堆石壩混凝土面板韌性時(shí)變分析。
（三）深埋超大規(guī)模地下廠房洞室群復(fù)雜巖體智能鉆爆。
本原創(chuàng)項(xiàng)目資助期限為3年，計(jì)劃資助3項(xiàng)，平均資助強(qiáng)度200萬元/項(xiàng)。預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)。
具體詳情參見基金委網(wǎng)站：
https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab434/info90823.htm
三、芯片亞納米級(jí)制造前沿探索
本項(xiàng)目圍繞未來芯片制造面臨的共性基礎(chǔ)科學(xué)問題，旨在通過揭示表界面亞納米級(jí)尺度的定域、定量、定勢(shì)調(diào)控機(jī)制，建立亞納米級(jí)精度表面與結(jié)構(gòu)的可控加工方法，為發(fā)展原子級(jí)制造開展先導(dǎo)性探索，支撐新一代芯片制造關(guān)鍵工藝和裝備能力的升級(jí)換代。資助方向如下：
（一）芯片制造過程中的亞納米級(jí)去除新原理與新方法。
（二）芯片先進(jìn)制程中的三維亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)構(gòu)筑新原理與新方法。
（三）第四代半導(dǎo)體材料的亞納米級(jí)制造新原理。
（四）芯片亞納米級(jí)制造過程中的缺陷檢測(cè)與修復(fù)。
本原創(chuàng)項(xiàng)目資助期限為3年，計(jì)劃資助4-5項(xiàng)，平均資助強(qiáng)度200萬/項(xiàng)。預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)。
具體詳情參見基金委網(wǎng)站：
https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab434/info90822.htm
原創(chuàng)項(xiàng)目從預(yù)申請(qǐng)開始直到自然科學(xué)基金委作出資助與否決定之前，不計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍；獲資助后計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍。請(qǐng)有意申報(bào)的老師認(rèn)真閱讀項(xiàng)目指南，根據(jù)要求在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)上報(bào)有關(guān)材料。
聯(lián)系人：李璐璐
電 話：63606707
Email： lilulu08@www.vxmx.cn
科研部
2023年11月14日
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